[发明专利]检测器、检测装置及其使用方法在审
| 申请号： | 202010689175.3 | 申请日： | 2020-07-17 |
| 公开（公告）号： | CN112240895A | 公开（公告）日： | 2021-01-19 |
| 发明（设计）人： | 于淳 | 申请（专利权）人： | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N27/22 | 分类号： | G01N27/22;G01N15/00 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人： | 李春秀 |
| 地址： | 中国台湾新竹市*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明实施例涉及检测器、检测装置及其使用方法。本发明一些实施例揭露一种检测器，其包含：衬底，其包含第一表面及与所述第一表面相对的第二表面；漏斗形凹槽，其从所述衬底的所述第二表面延伸到所述衬底的所述第一表面；导电层，其经放置于所述衬底的所述第一表面下方；绝缘层，其经放置于所述衬底与所述导电层之间；及第一贯穿通路，其延伸穿过所述导电层及所述绝缘层，且经耦合到所述漏斗形凹槽。 | ||
| 搜索关键词： | 检测器 检测 装置 及其 使用方法 | ||
【主权项】：
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