[发明专利]基于大气压冷等离子体微加工的人工仿生复眼制备方法在审
| 申请号： | 202010691423.8 | 申请日： | 2020-07-17 |
| 公开（公告）号： | CN111965738A | 公开（公告）日： | 2020-11-20 |
| 发明（设计）人： | 杨斌;韩晴晴;翟玥琦;刘景全 | 申请（专利权）人： | 上海交通大学 |
| 主分类号： | G02B3/00 | 分类号： | G02B3/00 |
| 代理公司： | 上海恒慧知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31317 | 代理人： | 徐红银;赵楠 |
| 地址： | 200240 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种基于大气压冷等离子体微加工的人工仿生复眼制备方法，包括：在衬底上旋涂一层光刻胶；对光刻胶采用大气压冷等离子体射流刻蚀，经刻蚀后在光刻胶的上面得到平面凹陷阵列结构；在刻蚀后得到平面凹陷阵列结构上表面制备脱模隔离层；在隔离层上旋涂一层光学透明材料，光学透明材料经固化后形成透明膜；剥离固化后的透明膜，得到具有平面凸起阵列结构的复眼透镜。本发明不需要掩模版，经过一次倒模之后，经热压变形便可得到人工仿生复眼结构；与传统的微透镜加工工艺相比，具有工艺简单、成本低以及复制精度高等优势。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 大气压 等离子体 加工 人工 仿生 复眼 制备 方法 | ||
【主权项】：
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