[发明专利]一种大尺寸晶体生长控制装置及控制方法在审
| 申请号： | 202010693327.7 | 申请日： | 2020-07-17 |
| 公开（公告）号： | CN111826716A | 公开（公告）日： | 2020-10-27 |
| 发明（设计）人： | 马孙明;彭方;郭玉勇;窦仁勤;毛炯;陈仪翔;张庆礼 | 申请（专利权）人： | 安徽晶宸科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B29/20 | 分类号： | C30B29/20;C30B17/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 230000 安徽省合肥市*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种大尺寸晶体生长控制装置及控制方法，属于晶体材料技术领域。一种大尺寸晶体生长控制装置，包括支架、控制器、电动伸缩杆、坩埚、加热套、供给箱和增压泵，控制器固定连接在支架的底部，加热套固定连接在支架的顶部，坩埚可拆卸套接在加热套内，支架上固定连接有支撑杆，电动伸缩杆固定连接在支撑杆上，电动伸缩杆的输出端固定连接有加热器，加热器的输出端固定连接有导热环，导热环延伸至坩埚内，电动增压泵固定连接在供给箱的侧壁，增压泵的输入端通过第一导管与供给箱相连通，增压泵的输出端通过第二导管与坩埚相连通；本发明利用加热套的通槽和壁厚顺序保证晶体的成型时，降低结晶块的多余应力，导热环降低脱离时的热冲击。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 尺寸 晶体生长 控制 装置 方法 | ||
【主权项】：
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