[发明专利]一种分子泵动平衡调整装置及调整方法有效
| 申请号： | 202010695942.1 | 申请日： | 2020-07-20 |
| 公开（公告）号： | CN111735571B | 公开（公告）日： | 2021-07-09 |
| 发明（设计）人： | 项海铭;洪申平;沙宏磊;俞天野;王文建;赵明杨;沈虹;李鲁楠 | 申请（专利权）人： | 天津飞旋科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01M1/36 | 分类号： | G01M1/36 |
| 代理公司： | 天津企兴智财知识产权代理有限公司 12226 | 代理人： | 苏冲 |
| 地址： | 300457 天津市*** | 国省代码： | 天津;12 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供了一种分子泵动平衡调整装置及调整方法，包括磁悬浮电机，磁悬浮电机一侧安装真空罩，真空罩通过真空管道连接至机械泵，真空罩内部设有叶轮和电磁主轴，磁悬浮电机的主轴连接至电磁主轴一端，电磁主轴另一端安装叶轮，电磁主轴上设有上径向轴承检测位和下径向轴承检测位，叶轮的端部设有第一动平衡加重孔和第二动平衡加重孔，真空罩外部设有检测单元，检测单元用于检测电磁主轴的不平衡量，并将信号传递给上位机。本发明所述的分子泵动平衡调整装置及调整方法，极大的提高了分子泵的动平衡测试效率而且精度高，节省了大量的调试时间。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 分子 动平衡 调整 装置 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于天津飞旋科技股份有限公司，未经天津飞旋科技股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202010695942.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
