[发明专利]一种抛光头及抛光装置

摘要

本发明提供了一种抛光头及抛光装置，该抛光头用于将晶圆保持在抛光平台上。该抛光头包括壳体、与壳体连接的限位环、以及位于限位环内且抵压在晶圆表面的背膜。其中，限位环环绕于晶圆四周以限位晶圆，防止晶圆脱出抛光头。且限位环的内径大于晶圆的直径，以在晶圆与限位环之间具有缝隙。该抛光头还包括位于背膜与抛光平台之间且填充在缝隙内的环结构，该环结构用于抵压在抛光平台上，以减缓位于晶圆边缘处的抛光垫反向翘曲现象，从而防止晶圆边缘处被过度抛光，从而减缓晶圆边缘处厚度不均匀现象，以提高晶圆上成膜图形的均匀性。