[发明专利]一种微波等离子清洗机有效
| 申请号： | 202010696231.6 | 申请日： | 2020-07-20 |
| 公开（公告）号： | CN111785603B | 公开（公告）日： | 2023-06-13 |
| 发明（设计）人： | 刘依婷;刘争辉;万军;蔡晋辉 | 申请（专利权）人： | 中国计量大学 |
| 主分类号： | H01J37/18 | 分类号： | H01J37/18;H01J37/32;H01L21/02;H01L21/67;H01L21/683 |
| 代理公司： | 北京众达德权知识产权代理有限公司 11570 | 代理人： | 刘杰 |
| 地址： | 310018 浙江省杭*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种微波等离子清洗机，包括上料装置、等离子清洗本体，所述的上料装置包括门把手，电磁门、观察窗、产品支架、载物板、真空吸盘、导轨，所述的等离子清洗本体包括外壳、微波屏蔽板、微波屏蔽罩，石英腔体、微波本体、微波腔、电源、PLC、气体流量控制器、三通配管、真空计、电风扇、微波开关、电磁门开关，控制面板，底座，石英腔体安装在微波屏蔽罩内部，微波腔固定在微波屏蔽板上，微波本体安装在微波腔上部，三通配管固定于出气法兰，与石英腔体相通，真空计固定在三通配管上部，气体流量控制器通过固定板固定在底座上。将待清洗产品放置在产品架上，送入石英腔体，对电子产品进行清洗，清洗效率高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 微波 等离子 清洗 | ||
【主权项】：
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