[发明专利]半导体器件和半导体器件的制造方法有效

专利信息
申请号: 202010697207.4 申请日: 2020-07-20
公开(公告)号: CN112002801B 公开(公告)日: 2021-09-07
发明(设计)人: 邱泰玮;沈鼎瀛;钱鹤 申请(专利权)人: 厦门半导体工业技术研发有限公司
主分类号: H01L45/00 分类号: H01L45/00
代理公司: 北京乐知新创知识产权代理事务所(普通合伙) 11734 代理人: 江宇
地址: 361008 福建省厦门市软件*** 国省代码: 福建;35
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摘要: 发明公开了一种半导体器件及半导体器件的制造方法,该半导体器件包括:半导体衬底;位于所述半导体衬底上的底部电极金属层和顶部电极金属层;位于所述底部电极金属层和顶部电极金属层之间的阻变层,所述阻变层的横向宽度大于所述底部电极金属层和/或顶部电极金属层的横向宽度,所述阻变层具有可变电阻;位于所述底部电极金属层和顶部电极金属层之间的阻氧层,所述阻氧层位于所述阻变层之上;位于所述底部电极金属层和顶部电极金属层之间的抓氧层,所述抓氧层的横向宽度小于所述阻变层的横向宽度,所述抓氧层位于所述阻氧层之上。
搜索关键词: 半导体器件 制造 方法
【主权项】:
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