[发明专利]一种聚焦光学系统及极紫外光产生系统在审
| 申请号： | 202010698180.0 | 申请日： | 2020-07-20 |
| 公开（公告）号： | CN111856890A | 公开（公告）日： | 2020-10-30 |
| 发明（设计）人： | 张鲁薇;郭劲;陈飞;潘其坤;张阔;于德洋;孙俊杰;何洋;张冉冉 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 王雨 |
| 地址： | 130033 吉林省长春市*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种聚焦光学系统，第一激光源用于产生第一激光束，第二激光源用于产生第二激光束，第一光束变换装置用于将第一激光束变换为第一环形光束，并将形成的第一环形光束入射到合束装置，合束装置用于将第一环形光束引导传播到聚焦装置，将第二激光束引导传播到聚焦装置，使得第二激光束处于第一环形光束的中心孔内且第二激光束的光轴与第一环形光束的光轴重合，聚焦装置用于分别将第二激光束聚焦以及将第一环形光束聚焦。本发明的聚焦光学系统与现有的反射式聚焦系统相比避免了中心遮挡，避免了能量损失，因此能够提升能量利用率和抗损伤性能。本发明还公开一种极紫外光产生系统。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 聚焦 光学系统 紫外光 产生 系统 | ||
【主权项】：
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