[发明专利]一种基于激光干涉原理的凸轮测量装置及测量方法在审
| 申请号： | 202010700546.3 | 申请日： | 2020-07-20 |
| 公开（公告）号： | CN111895910A | 公开（公告）日： | 2020-11-06 |
| 发明（设计）人： | 林虎;薛梓;杨国梁;杨武伟 | 申请（专利权）人： | 中国计量科学研究院 |
| 主分类号： | G01B11/00 | 分类号： | G01B11/00;G01B9/02 |
| 代理公司： | 北京慕达星云知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11465 | 代理人： | 李冉 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开的一种基于激光干涉原理的凸轮测量装置及测量方法，包括测微测头、XZ轴运动装置、激光器；测微测头安装在XZ轴运动装置上，沿X轴或Z轴移动；测微测头的测球与凸轮表面相接触；激光器发出激光干涉测长双光路，包括激光光束通过分光镜被分为X光路和Z光路；X光路经过平面镜反射后被角锥镜一接收，角锥镜一接收的反射后X光路与测杆的轴向相平行；Z光路被角锥镜二接收，角锥镜二接收的反射后Z光路与测杆的轴向相垂直；角锥镜一和角锥镜二均设置在测微测头的测杆上。本发明采用激光干涉测长作为测量标准，替代光栅尺测长，大大降低了测量过程的阿贝误差，同时光路的布置适用于多种类型凸轮的测量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 激光 干涉 原理 凸轮 测量 装置 测量方法 | ||
【主权项】：
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