[发明专利]氯乙烯气体检测用红外滤光片、气体传感器及制备方法有效
| 申请号： | 202010701228.9 | 申请日： | 2020-07-21 |
| 公开（公告）号： | CN111596396B | 公开（公告）日： | 2020-10-27 |
| 发明（设计）人： | 何虎;张杰;于海洋;许晴;王昕;宋录振;王爽 | 申请（专利权）人： | 上海翼捷工业安全设备股份有限公司 |
| 主分类号： | G02B5/28 | 分类号： | G02B5/28;G01N21/3504;G01N21/01;C23C14/16;C23C14/08;C23C14/30;C23C14/26 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 孟金喆 |
| 地址： | 201203 上海市浦东新区中国（上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明实施例公开了一种氯乙烯气体检测用红外滤光片、气体传感器及制备方法。该红外滤光片包括基底以及主膜系薄膜和截止膜系薄膜，主膜系薄膜和截止膜系薄膜分别形成于基底相对的两侧表面；主膜系薄膜和截止膜系薄膜均包括交替层叠的Ge膜层和SiO膜层；主膜系薄膜结构为规整结构；截止膜系薄膜结构为非规整结构。本发明实施例解决了现有技术中没有专门应用于氯乙烯气体探测的红外滤光片的问题，提供了一种中心波长在6215±40nm，通带宽度为170±20nm，峰值透射率大于85%的红外滤光片，并且该红外滤光片还实现了400‑6000nm和6420‑11000nm的截止区，截至区最大透射率小于0.5%。 | ||
| 搜索关键词： | 氯乙烯 气体 检测 红外 滤光 传感器 制备 方法 | ||
【主权项】：
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