[发明专利]一种采用混匀缓冲结构均匀分配金属蒸汽的真空镀膜装置有效
| 申请号： | 202010702653.X | 申请日： | 2020-07-21 |
| 公开（公告）号： | CN113957392B | 公开（公告）日： | 2022-09-20 |
| 发明（设计）人： | 任三兵;熊斐;樊俊飞;周月明;李山青 | 申请（专利权）人： | 宝山钢铁股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/26 | 分类号： | C23C14/26;C23C14/14 |
| 代理公司： | 上海集信知识产权代理有限公司 31254 | 代理人： | 李玲 |
| 地址： | 201900 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种采用混匀缓冲结构均匀分配金属蒸汽的真空镀膜装置，包括坩埚，所述坩埚的外侧设有用以将所述坩埚内的金属液加热形成金属蒸汽的感应加热器，所述坩埚顶部通过金属蒸汽管道连有布流箱体，所述布流箱体内设有水平向的芯棒和稳压板，所述芯棒位于所述稳压板的下方，所述布流箱体的顶部设有镀膜喷嘴，所述布流箱体的外侧设有感应线圈，所述金属蒸汽管道上设有调压阀；所述芯棒的内部开有数个轴向的加热孔，所述加热孔内设有电阻丝，所述芯棒的表面上设有一级导流板、二级导流板和三级导流板；所述布流箱体的内壁上开有缓冲槽，所述缓冲槽与所述芯棒的位置相对应。本发明使高温蒸汽和低温钢板接触时，在钢板表面形成均匀镀层。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 采用 缓冲 结构 均匀 分配 金属 蒸汽 真空镀膜 装置 | ||
【主权项】：
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