[发明专利]适用于氧化镓晶体的生长设备

摘要

本申请公开了一种适用于氧化镓晶体的生长设备，包括炉体、圆筒、底板、连接杆、气体排出口、电机、气缸、固定套、盖板、通孔、提拉杆、籽晶、晶体、坩埚、托板、方型杆、方孔套、承载杆、承载托球、球体、球罩、限位环、螺旋弹簧、推杆、固定支架、加热器和导热条板。本申请有益之处对坩埚的加热效果较好，通过弹力压紧机构的设置，可为加热器和导热条板提供压力，保持与坩埚的接触，直接进行热传递，通过导热条板的设置保障了接触面，提高了导热效果；坩埚与电机的连接处设置了伸缩杆件，之间的距离可调，配合气缸的设置，可改变坩埚的高度，便于整体的使用。