[发明专利]一种蒸镀遮罩结构和蒸镀遮罩结构免清洗的工艺方法在审
| 申请号： | 202010704199.1 | 申请日： | 2020-07-21 |
| 公开（公告）号： | CN111850465A | 公开（公告）日： | 2020-10-30 |
| 发明（设计）人： | 温质康;林佳龙;乔小平 | 申请（专利权）人： | 福建华佳彩有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24 |
| 代理公司： | 福州市博深专利事务所(普通合伙) 35214 | 代理人： | 董晗 |
| 地址： | 351100 福*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本发明涉及蒸镀技术领域，特别涉及一种蒸镀遮罩结构和蒸镀遮罩结构免清洗的工艺方法，包括金属掩膜板，金属掩膜板的非镂空区域的一侧面上依次层叠设有可剥离的有机物层和蒸镀薄膜层，有机物层分别与金属掩膜板和有机薄膜层接触，外设的玻璃基板位于蒸镀薄膜层的上方，外设的蒸发源位于金属掩膜板的下方，通过在金属掩膜板的非镂空区域的一侧面上依次层叠设置可剥离的有机物层和蒸镀薄膜层，这样使得能够使用激光剥离装置对金属掩膜板上的有机物层进行剥离，得到一个全新干净的金属掩膜板，再通过涂布机重新涂布有机物层，进行重复利用，免去清洗的步骤，提高了工业效率，为企业节省开支。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 蒸镀遮罩 结构 清洗 工艺 方法 | ||
【主权项】：
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