[发明专利]一种机台设备的测试方法及装置在审
| 申请号： | 202010706155.2 | 申请日： | 2020-07-21 |
| 公开（公告）号： | CN111984528A | 公开（公告）日： | 2020-11-24 |
| 发明（设计）人： | 刘丹 | 申请（专利权）人： | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G06F11/36 | 分类号： | G06F11/36;G06F9/4401;G05B23/02 |
| 代理公司： | 北京润泽恒知识产权代理有限公司 11319 | 代理人： | 莎日娜 |
| 地址： | 100176 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本申请提供了一种机台设备的测试方法及装置，包括：加载第一配置文件，所述第一配置文件存储有机台设备的触发事件CEID与机台设备的生产工艺数据SVID的第一关联关系；加载第二配置文件，所述第二配置文件用于对所述机台设备的生产工艺数据进行加载；判断与所述机台设备是否连接，若判断结果为是，则使用所述第一配置文件对所述机台设备进行初始化；待所述机台设备初始化完成后，按照预设的生产时序，使用所述第一配置文件和所述第二配置文件对预设的所述机台设备的生产流程进行测试，以解决目前厂商无法模拟设备自动化控制系统进行自动化生产测试的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 机台 设备 测试 方法 装置 | ||
【主权项】：
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