[发明专利]一种锌掺杂氧化锡透明导电薄膜及其制备方法和用途在审
| 申请号： | 202010706254.0 | 申请日： | 2020-07-21 |
| 公开（公告）号： | CN111705306A | 公开（公告）日： | 2020-09-25 |
| 发明（设计）人： | 孙小卫;赵俊亮 | 申请（专利权）人： | 深圳扑浪创新科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C16/40 | 分类号： | C23C16/40;C23C16/02 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 潘登 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市龙岗区布吉街道甘李*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种锌掺杂氧化锡透明导电薄膜及其制备方法和用途，所述锌掺杂氧化锡透明导电薄膜中Zn掺杂浓度为0～12at％，不包括0at％，所述锌掺杂氧化锡透明导电薄膜的制备方法为金属有机化学气相沉积方法。本发明所述锌掺杂氧化锡透明导电薄膜选用常见易得的锌作为掺杂元素，不仅可以解决现有透明导电薄膜用于掺杂的元素所存在的毒性和稀有性等问题，还具有较低的电阻率和面电阻、较高的载流子浓度和电子迁移率、优异的热稳定性和耐酸腐蚀的化学稳定性、可见‑中红外区域高透光率等优点，尤其可以解决现有氧化铟锡透明导电薄膜所存在的热稳定性与耐酸性不足的问题。此外，本发明所述制备方法操作简单，原材料成本低，适合大规模推广。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 掺杂 氧化 透明 导电 薄膜 及其 制备 方法 用途 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于深圳扑浪创新科技有限公司，未经深圳扑浪创新科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202010706254.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
