[发明专利]一种抑制泡生法蓝宝石单晶缩肩的冷却装置在审
| 申请号： | 202010708972.1 | 申请日： | 2020-07-22 |
| 公开（公告）号： | CN111850688A | 公开（公告）日： | 2020-10-30 |
| 发明（设计）人： | 左洪波;杨鑫宏;李铁;吴岩 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨秋硕半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B29/20 | 分类号： | C30B29/20;C30B17/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 150001 黑龙江*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种抑制泡生法生长蓝宝石单晶缩肩的冷却装置。该结构整体由导热管、吸热管、散热管组成，导热管为圆环形管路，位于坩埚与加热体之间上部四分之一位置，围绕并靠近坩埚，不与加热体接触，吸热管、散热管与导热管连通且位置对称，通过小炉盖延伸至炉体外部，并与蒸发机连接。导热管、吸热管、散热管均为钨钼材质。本发明结构简单，便于安装、拆卸、维修，同时可灵活调节单晶上部缩肩位置换热量，进而改变晶体生长形态，有效抑制晶体缩肩，提高晶体出材。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 抑制 泡生法 蓝宝石 单晶缩肩 冷却 装置 | ||
【主权项】：
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