[发明专利]一种三维纳米管气体传感器阵列及其封装方法有效
| 申请号： | 202010709099.8 | 申请日： | 2020-07-21 |
| 公开（公告）号： | CN111707715B | 公开（公告）日： | 2023-09-05 |
| 发明（设计）人： | 范智勇;陈卓;周清峰;沈国震 | 申请（专利权）人： | 艾感科技(广东)有限公司 |
| 主分类号： | G01N27/12 | 分类号： | G01N27/12;B82Y15/00 |
| 代理公司： | 北京之于行知识产权代理有限公司 11767 | 代理人： | 何志欣 |
| 地址： | 528000 广东省佛山市禅*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种三维纳米管气体传感器阵列的封装方法，所述方法包括：建立包括气体敏感度差异化的若干传感区域的三维纳米管气体传感器阵列，以打线结合的方式将阳极氧化铝薄膜第一表面的沿第一方向排列的且与传感区域对应的若干第一电极进行短接；将阳极氧化铝薄膜第二表面的沿第二方向排列的且与传感区域对应的共用第二电极与陶瓷层第一表面上的第三电极连接。本发明将结合打线接合技术及上下交叉电极技术，集成三维纳米管阵列，完成上下电极的引出，实现了能够同时探测多种气体的三维纳米管传感器阵列。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 三维 纳米 气体 传感器 阵列 及其 封装 方法 | ||
【主权项】：
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