[发明专利]助熔剂法连续生长大尺寸高质量氮化物单晶的系统及方法在审
| 申请号： | 202010710019.0 | 申请日： | 2020-07-22 |
| 公开（公告）号： | CN113969422A | 公开（公告）日： | 2022-01-25 |
| 发明（设计）人： | 司志伟;刘宗亮;徐科 | 申请（专利权）人： | 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 |
| 主分类号： | C30B9/10 | 分类号： | C30B9/10;C30B29/40 |
| 代理公司： | 南京利丰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32256 | 代理人： | 王锋 |
| 地址： | 215123 江苏省苏州市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种助熔剂法连续生长大尺寸高质量氮化物单晶的系统及方法。所述系统包括：反应生长单元、原料补给单元、废料回收单元、生长停滞监测单元和控制单元，所述反应生长单元包括可供反应生长氮化物单晶的反应腔室，所述原料补给单元和废料回收单元分别与所述反应腔室连接，所述废料回收单元至少用于将反应腔室中的废料导出，所述生长停滞监测单元至少用于对所述氮化物单晶的生长状态进行监测，以及，所述控制单元还与所述原料补给单元、废料回收单元、生长停滞监测单元连接。本发明提供的系统具有自动化均匀性补充原料的原料补给单元，通过在生长过程中，不断补充生长原料，实现氮化镓单晶的自动连续均匀生长。 | ||
| 搜索关键词： | 熔剂 连续 生长 尺寸 质量 氮化物 系统 方法 | ||
【主权项】：
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