[发明专利]紫外光电二极管及其制备方法

摘要

本发明适用于光电探测技术领域，提供了一种紫外光电二极管及其制备方法，该方法包括：在衬底上依次制备第一接触层和台面结构，并在第一接触层上除台面结构之外区域制备下电极，形成第一样品；将制备的多层石墨烯薄膜转移到第一样品表面并刻蚀，在台面结构表面区域形成石墨烯透明电极；在形成石墨烯透明电极后的第一样品表面上生长第一介质层并刻蚀，形成石墨烯保护层；刻蚀石墨烯透明电极上的第一介质层，获得上电极对应区域，并在石墨烯透明电极上的上电极对应区域制备上电极，获得紫外光电二极管。本发明通过石墨烯透明电极，有利于拓展整个光子探测有源区下方的电场分布，进而大幅度提高紫外光电二极管的探测效率。