[发明专利]背入射式日盲紫外探测器及其制作方法

摘要

本发明适用于紫外光探测器制备技术领域，提供了一种背入射式日盲紫外探测器及其制作方法，该方法包括：在蓝宝石衬底上制备日盲紫外探测器的器件层；采用激光剥离技术将所述日盲紫外探测器的器件层与所述蓝宝石衬底分离；将分离的所述日盲紫外探测器的器件层键合到透紫外光的基板上。工作时基板背面作为紫外光子入射面，极大地增加了有效入射面积，同时正面电极可以做地尽可能地大，使得垂直方向的电场分布更加均匀，可以大幅度提高探测效率。另外激光剥离后的蓝宝石衬底可以重复利用，大大降低了日盲紫外探测器的研制成本。