[发明专利]基于LNOI薄膜的集成微型光幅相控制器

摘要

基于LNOI薄膜的集成微型光幅相控制器，属于光电子技术领域，由LNOI薄膜上的光波导和行波电极所构成，LNOI薄膜由铌酸锂层与SiO2缓冲层构成，在铌酸锂层上面采用沉积的方法形成铌酸锂异构单模波导构成光波导，在该光波导两侧设置相位控制器电极，构成相位控制单元；之后光波导分为平行两路，在该两路光波导间设置幅度控制器电极，构成幅度控制单元，之后该两路光波导合束进行干涉，作为光的幅相控制后的输出波导。本发明可以根据需求对光场同时进行相位和幅度的调控；并且波导结构为薄膜铌酸锂与氮化硅异构，使得幅相控制器具有低损耗、高调制效率、高集成度等优点，具有潜在经济与应用价值，能够在光探测和光通信领域中得到广泛的应用。