[发明专利]一种大口径光学系统MTF测量装置及方法在审
| 申请号： | 202010712501.8 | 申请日： | 2020-07-22 |
| 公开（公告）号： | CN111912607A | 公开（公告）日： | 2020-11-10 |
| 发明（设计）人： | 鄂可伟;赵建科;周艳;王涛;王争锋;刘锴;李晶;薛勋;李坤 | 申请（专利权）人： | 中国科学院西安光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | G01M11/02 | 分类号： | G01M11/02 |
| 代理公司： | 西安智邦专利商标代理有限公司 61211 | 代理人： | 王凯敏 |
| 地址： | 710119 陕西省西*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 为解决传统的大口径光学系统MTF的检测方式，测试精度易受大口径平行光管中光学元件面形影响、抗扰动能力差以及测试成本高的技术问题，本发明提供了一种大口径光学系统MTF测量装置及方法。本发明使用小口径平面反射镜作为参考平面反射镜，主动式哈特曼波前传感器作为波前测量设备，将小口径平面反射镜移动到大口径光学系统各个子孔径位置上，使用主动式哈特曼波前传感器获取各个子孔径的波像差。当全口径被覆盖完全后，采用子孔径拼接算法拼接处理各子孔径波像差数据得出全口径波像差，全口径波像差经过数值计算后便能转化为光学系统的MTF值。本发明避免了干涉仪及大口径平面反射镜的使用，提高了整个系统的抗扰动能力，降低了测试成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 口径 光学系统 mtf 测量 装置 方法 | ||
【主权项】：
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