[发明专利]一种AFM低漂移大范围扫描测量的路径规划方法有效
| 申请号： | 202010712878.3 | 申请日： | 2020-07-22 |
| 公开（公告）号： | CN111830288B | 公开（公告）日： | 2023-02-28 |
| 发明（设计）人： | 张连生;颜军杰;黄强先;陈丽娟;李红莉;程荣俊 | 申请（专利权）人： | 合肥工业大学 |
| 主分类号： | G01Q60/24 | 分类号： | G01Q60/24;G01Q60/38;G01Q10/00 |
| 代理公司： | 安徽省合肥新安专利代理有限责任公司 34101 | 代理人： | 陆丽莉;何梅生 |
| 地址： | 230009 安*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种AFM低漂移大范围扫描测量的路径规划方法，其步骤包括：1扫描中心微块的图像，2微动平台移动到下一个微块区域并扫描，且与上一个微块有部分重叠，3对两个微块重叠部分进行相关计算得到漂移量，并对微块图像进行校正，4微动平台按照螺旋式扫描路线进行扫描，当扫描范围超过微动平台运动范围时，移动宏动平台与微动平台协同运动。5微动平台继续按照螺旋式扫描路线进行扫描，直到扫描完全部区域。本发明能实现漂移的实时计算和补偿校正，获取低漂移的大范围样品图像，从而提高原子力显微镜获取低漂移图像和测量的能力，对扫描探针显微镜的技术具有一定的理论意义和实用价值。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 afm 漂移 范围 扫描 测量 路径 规划 方法 | ||
【主权项】：
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