[发明专利]一种原位实时定量诊断聚变装置面壁部件腐蚀沉积的方法有效
| 申请号： | 202010713562.6 | 申请日： | 2020-07-23 |
| 公开（公告）号： | CN111929127B | 公开（公告）日： | 2023-06-13 |
| 发明（设计）人： | 赵栋烨;才来中;胡万鹏;黄向玫;王亚磊;曾晓晓;马会聪 | 申请（专利权）人： | 核工业西南物理研究院 |
| 主分类号： | G01N1/28 | 分类号： | G01N1/28;G01N21/71 |
| 代理公司： | 核工业专利中心 11007 | 代理人： | 高安娜 |
| 地址： | 610041 四川*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明聚变装置等离子体测量技术，具体为一种原位实时定量诊断聚变装置面壁部件腐蚀沉积的方法。首先制备等离子体辐照前多层膜PFCs，之后采集LIBS光谱，确定LIBS激光脉冲数和标记层的绝对厚度，多层膜PFCs经过辐照后，再次采集其LIBS光谱，确定LIBS激光脉冲数和标记层绝对厚度，得出辐照前后的标记层绝对厚度变化，积分求解得出PFCs腐蚀与沉积的绝对质量。本方法深度分辨测量聚变等离子体辐照前后多层膜偏滤器面壁部件的厚度变化，绝对定量诊断出PFCs的腐蚀与沉积量，从而实现对PFCs腐蚀与沉积的原位、实时诊断监测。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 原位 实时 定量 诊断 聚变 装置 面壁 部件 腐蚀 沉积 方法 | ||
【主权项】：
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