[发明专利]时间相关电介质击穿测试结构及其测试方法有效
| 申请号： | 202010714686.6 | 申请日： | 2018-11-06 |
| 公开（公告）号： | CN111812472B | 公开（公告）日： | 2021-07-30 |
| 发明（设计）人： | 杨盛玮;韩坤 | 申请（专利权）人： | 长江存储科技有限责任公司 |
| 主分类号： | G01R31/12 | 分类号： | G01R31/12;G01R31/14;H01L21/66 |
| 代理公司： | 北京永新同创知识产权代理有限公司 11376 | 代理人： | 林锦辉;刘景峰 |
| 地址： | 430223 湖北省武*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 一种时间相关电介质击穿测试结构包括在恒定电压和地之间并联连接的多个测试单元。所述多个测试单元中的每一个包括连接至所述恒定电压的电介质测试样本；以及连接于所述电介质测试样本和地之间的电流限制单元，所述电流限制单元用于在所述恒定电压击穿所述电介质测试样本之后限制击穿电流在所述电介质测试样本上流动。 | ||
| 搜索关键词： | 时间 相关 电介质 击穿 测试 结构 及其 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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