[发明专利]一种三电极结构的静电探针系统有效
| 申请号： | 202010715223.1 | 申请日： | 2020-07-23 |
| 公开（公告）号： | CN111935893B | 公开（公告）日： | 2021-07-16 |
| 发明（设计）人： | 王传胜;林鑫;李飞;张仕忠;余西龙 | 申请（专利权）人： | 中国科学院力学研究所 |
| 主分类号： | H05H1/00 | 分类号： | H05H1/00 |
| 代理公司： | 北京和信华成知识产权代理事务所(普通合伙) 11390 | 代理人： | 焦海峰 |
| 地址： | 100190 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开一种三电极结构的静电探针系统，三电极探针单元收集电子电流和离子电流，通过耐高压射频降噪单元去除射频噪声；去除射频噪声后的电流经取样电阻后输入到功放单元，经功放单元的接地端构成探针回路；功放单元将信号控制及数据处理单元产生的周期性扫描电压信号放大并加载到三电极探针单元的探针极；电流采集单元同时采集探针极和参考极的电流信号，先通过工频干扰抑制器主动消除工频噪声，再经过隔离器输入到信号控制及数据处理单元处理得到电子密度和电子温度数据。实现对射频噪声的补偿和对工频噪声的主动消除，进而得到高信噪比的伏安特性曲线，能够实现对含有强烈射频噪声和工频干扰的等离子体电子温度和电子密度的准确测量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 电极 结构 静电 探针 系统 | ||
【主权项】：
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