[发明专利]基板运输装置及其工作方法、基板处理系统及处理方法

摘要

本申请提供了一种基板运输装置、基板处理系统及基板运输装置的工作方法，该基板运输装置包括支撑组件和承载台，承载台具有承载面，承载面被配置为承载基板，承载台被配置为带动基板沿第一方向相对于支撑组件运动；承载台设有通孔，支撑组件包括支撑柱，支撑柱被配置为穿过通孔并带动基板沿垂直于承载面的方向移动，以带动基板与承载面贴合或者使基板远离承载面。本申请提供的基板运输装置，通过设置支撑组件，能够有效完成基板在承载台上的上下料过程，且支撑组件未与承载台固定连接，能够有效避免增加承载台的重量，保证了承载台的传输速度，从而满足高速传输的要求。