[发明专利]一种模块化设计MEMS扩散硅压力传感器及其制造的方法在审
| 申请号： | 202010716194.0 | 申请日： | 2020-07-23 |
| 公开（公告）号： | CN111982363A | 公开（公告）日： | 2020-11-24 |
| 发明（设计）人： | 唐中山 | 申请（专利权）人： | 唐中山 |
| 主分类号： | G01L1/20 | 分类号： | G01L1/20;G01L9/02 |
| 代理公司： | 深圳峰诚志合知识产权代理有限公司 44525 | 代理人： | 陈列生 |
| 地址： | 518000 广东省深*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种模块化设计MEMS扩散硅压力传感器，包括压力输入模块、压力感应模块、信号处理模块、信号输出模块；所述压力输入模块负责外界压力的输入，在其竖直方向的中心设有空腔；所述压力感应模块负责感应压力信号，嵌入在所述空腔上部；所述信号处理模块负责对压力信号进行放大、运算、整形、补偿和标定的处理，安装在压力感应模块的上方并与之顶端信号连接；所述信号输出模块负责将压力信号进行输出，位于信号处理模块上方包裹住信号处理模块并与之顶端信号连接，且与所述压力输入模块上端部固定连接。本发明的有益效果在于：通过模块化的设计及制造工艺有效简化生产工艺的复杂性、降低了生产工艺成本，提高了产品质量的稳定性和生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 模块化 设计 mems 扩散 压力传感器 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
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