[发明专利]一种压电薄膜的制备方法、压电薄膜及带通滤波器有效
| 申请号： | 202010717354.3 | 申请日： | 2020-07-23 |
| 公开（公告）号： | CN111883648B | 公开（公告）日： | 2021-05-25 |
| 发明（设计）人： | 欧欣;陈阳;黄凯;赵晓蒙;鄢有泉;李忠旭 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
| 主分类号： | H01L41/253 | 分类号： | H01L41/253;H01L41/312;H01L41/04;H01L41/08;H01L41/083;H03H9/56 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 郝传鑫;贾允 |
| 地址： | 200050 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种压电薄膜的制备方法、压电薄膜及带通滤波器，该方法包括：获取多个压电晶圆和多个预设衬底晶圆；对多个压电晶圆进行离子注入，得到多个离子注入后的压电晶圆；多个离子注入后的压电晶圆内具有离子注入损伤层；将多个离子注入后的压电晶圆与多个预设衬底晶圆进行键合，得到多个键合晶圆；对多个键合晶圆进行退火处理，在退火处理过程中，调控多个键合晶圆的面内应力，以调整多个键合晶圆在相应的离子注入损伤层处发生剥离的剥离厚度，得到多个压电薄膜；其中，多个压电薄膜之间的剥离厚度偏差小于第一预设厚度阈值。本发明能够降低不同晶圆剥离厚度之间的片间偏差，提高薄膜剥离厚度的精确性，从而提高压电薄膜晶圆的良品率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 压电 薄膜 制备 方法 带通滤波器 | ||
【主权项】：
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