[发明专利]一种片上间接电泵浦的掺铒光波导放大器的混合集成方法有效
| 申请号： | 202010717378.9 | 申请日： | 2020-07-23 |
| 公开（公告）号： | CN111987575B | 公开（公告）日： | 2022-02-18 |
| 发明（设计）人： | 王冰;肖盼盼 | 申请（专利权）人： | 中山大学 |
| 主分类号： | H01S3/063 | 分类号： | H01S3/063;H01S3/0933 |
| 代理公司： | 广州粤高专利商标代理有限公司 44102 | 代理人： | 张金福 |
| 地址： | 510275 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种片上间接电泵浦的掺铒光波导放大器的混合集成方法，包括以下步骤：S1.在Ⅲ‑Ⅴ族衬底上外延生长Ⅲ‑Ⅴ族多量子阱作为电泵浦源，与硅/二氧化硅进行晶圆键合集成；S2.刻蚀Ⅲ‑Ⅴ族层，开出掺铒波导空间；S3.沉积氮化硅，并用化学机械磨抛进行表面平坦化；S4.刻蚀氮化硅；S5.沉积掺铒增益材料，并用化学机械磨抛进行表面平坦化；S6.刻蚀Ⅲ‑Ⅴ族多量子阱电泵浦源到N‑type层，并制作金属电极；S7.刻蚀Ⅲ‑Ⅴ族多量子阱电泵浦源，制作DBR谐振腔，完成器件制造。本发明降低了工艺复杂度和器件厚度，提高了泵浦效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 间接 电泵浦 掺铒光 波导 放大器 混合 集成 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中山大学，未经中山大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202010717378.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
