[发明专利]一种基于维恩分析器校正二阶像差的设计方法有效
| 申请号： | 202010717980.2 | 申请日： | 2020-07-23 |
| 公开（公告）号： | CN112071731B | 公开（公告）日： | 2021-11-19 |
| 发明（设计）人： | 康永锋;常飞浩;胡航锋;赵静宜 | 申请（专利权）人： | 西安交通大学 |
| 主分类号： | H01J37/147 | 分类号： | H01J37/147;H01J37/153;H01J37/28;H01L21/66 |
| 代理公司： | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人： | 陈翠兰 |
| 地址： | 710049 *** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于维恩分析器校正二阶像差的设计方法，针对有偏转系统的存在时，此时沿着光轴附近将场函数做级数展开分析系统电子光学特性，能够分析因偏转带来的二阶像差。利用维恩分析器，通过给圆弧电极施加电压信号激励，让分析器产生所需的四极场，叠加在维恩分析器上。针对整个成像系统或检测系统，计算其光学特性，根据叠加四极场所计算的结果，控制调节加入四极场的方位角和激励强度，从而达到补偿系统因偏转带来的二阶像差。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 分析器 校正 二阶像差 设计 方法 | ||
【主权项】：
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