[发明专利]一种具备高灵敏系数的新型原子层热电堆热流传感器及其封装工艺在审
| 申请号： | 202010718403.5 | 申请日： | 2020-07-23 |
| 公开（公告）号： | CN111725381A | 公开（公告）日： | 2020-09-29 |
| 发明（设计）人： | 杨凯;朱涛;陶伯万;朱新新;王辉;杨庆涛;杨远剑 | 申请（专利权）人： | 中国空气动力研究与发展中心超高速空气动力研究所;电子科技大学 |
| 主分类号： | H01L35/32 | 分类号： | H01L35/32;H01L35/08;H01L35/34;G01J5/12;G01K7/00;G01M9/04;G01M9/06 |
| 代理公司： | 北京远大卓悦知识产权代理事务所(普通合伙) 11369 | 代理人： | 贾晓燕 |
| 地址： | 621000 四*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种具备高灵敏度系数的新型原子层热电堆热流传感器及其封装工艺，包括：基座，其表面设置有电绝缘氧化层，基座侧面开设有导线槽，基座上端面开设有引线孔Ⅱ；敏感元件，其粘接固定在基座的上端面；封装套，其套设在基座外部；银导线，其固定设置在导线槽内；敏感元件的结构包括：钛酸锶晶片，其上开设有引线孔Ⅰ，钛酸锶晶片表面沉积有至少两个钇钡铜氧化物薄膜；钇钡铜氧化物薄膜之间通过导电金膜首尾串联连接；两个引线金膜，其一端与钇钡铜氧化物薄膜相接，另一端覆盖引线孔Ⅰ周围区域；银导线穿过引线孔Ⅱ和引线孔Ⅰ，并与引线金膜电导通。本原子层热电堆热流传感器能够在相同尺寸下物理上放大传感器输出，可用于风洞测热试验。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 具备 灵敏 系数 新型 原子 热电 热流 传感器 及其 封装 工艺 | ||
【主权项】：
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