[发明专利]用于光电倍增管的硅通道板及其制备方法在审
| 申请号： | 202010718865.7 | 申请日： | 2020-07-23 |
| 公开（公告）号： | CN111785597A | 公开（公告）日： | 2020-10-16 |
| 发明（设计）人： | 张成;司曙光;任玲;王兴超;孙建宁;李臻;郭一亮;李珅;黄之瑶;李冬 | 申请（专利权）人： | 北方夜视技术股份有限公司 |
| 主分类号： | H01J9/12 | 分类号： | H01J9/12;H01J43/24 |
| 代理公司： | 南京行高知识产权代理有限公司 32404 | 代理人： | 王培松;王菊花 |
| 地址： | 650217 云南*** | 国省代码： | 云南;53 |
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| 摘要： |
本发明提供一种用于光电倍增管的硅通道板及其制备方法，包括：将硅片进行酸洗吹干；在吹干的硅片表面均匀涂覆光刻胶再覆盖掩膜版，采用紫外光照射数分钟后，使用显影液洗去表面光刻胶，在硅片表面获得与掩膜版图案相同或相反的图案；在硅片表面贵金属沉积，获得贵金属层，其中贵金属层在硅片表面形成纳米网状结构；将表面沉积贵金属的硅片放入配置好的HF‑H |
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| 搜索关键词： | 用于 光电倍增管 通道 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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