[发明专利]一种超疏水钛薄膜的原位制备方法及其应用在审
| 申请号： | 202010719119.X | 申请日： | 2020-07-23 |
| 公开（公告）号： | CN111945120A | 公开（公告）日： | 2020-11-17 |
| 发明（设计）人： | 王泽;陶佳虓;叶炜钦;吴昊;徐紫玥;陈菊芳;叶霞;杨晓红;姚远远;陆磊;李小平 | 申请（专利权）人： | 江苏理工学院 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/16;C23C14/02;C23C14/58;B82Y30/00;B82Y40/00 |
| 代理公司： | 常州佰业腾飞专利代理事务所(普通合伙) 32231 | 代理人： | 马晓敏 |
| 地址： | 213001 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明属于金属表面工程技术领域，具体涉及一种超疏水钛薄膜的原位制备方法及其应用。包括：(1)基体准备：将硅片基体固定在挡板上，抽真空；(2)预溅镀：溅射腔抽真空，对钛靶材进行预溅镀；(3)送样：将预溅镀后的钛靶材送到溅射腔中样品台，调节旋转速度；(4)洗腔：开启溅射腔进气阀，调节高纯氩气流量和清洗时间；(5)溅镀：设置溅射电压、工作压力、溅射时间、高纯氩气流量进行溅射，冷却后取出钛薄膜；(6)热处理：将钛薄膜进行封管热处理，得超疏水钛薄膜。本发明制备方法能够实现大面积或复杂形状的超疏水钛表面的制备，超疏水钛表面不仅超疏水性能稳定,而且力学性能好，能够应用在航天航空、船舶、海洋工程、生物医学中。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 疏水 薄膜 原位 制备 方法 及其 应用 | ||
【主权项】：
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