[发明专利]一种基于柔性基底的LSPR传感器及其制备方法和应用有效
申请号: | 202010721797.X | 申请日: | 2020-07-24 |
公开(公告)号: | CN111766222B | 公开(公告)日: | 2022-03-15 |
发明(设计)人: | 张耀;李阳 | 申请(专利权)人: | 江苏致微光电技术有限责任公司 |
主分类号: | G01N21/552 | 分类号: | G01N21/552;B82Y30/00;B82Y40/00 |
代理公司: | 北京高沃律师事务所 11569 | 代理人: | 马小星 |
地址: | 214500 江苏省泰州市靖*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明提供了一种基于柔性基底的LSPR传感器及其制备方法和应用,涉及微纳米制备技术领域。本发明提供的基于柔性基底的LSPR传感器,包括柔性聚合物基底和位于所述柔性聚合物基底表面的等离子体激发材料层;所述等离子体激发材料层表面具有岛状二维纳米结构阵列图形。相比于硬质基底的LSPR器件,本发明提供的基于柔性基底的LSPR传感器的基底为柔性基底,制备的LSPR传感器具有可任意弯曲、质量轻、价格便宜等优点;而且,基于柔性基底的LSPR传感器具有良好的水氧阻绝功能,化学性质相对稳定,具有更大的灵活性,拓展了LSPR传感器的应用领域。同时,制备方法工艺简单,成本低,具有较高的工艺重复性,良品率在70%以上。 | ||
搜索关键词: | 一种 基于 柔性 基底 lspr 传感器 及其 制备 方法 应用 | ||
【主权项】:
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