[发明专利]一种应用于3D光互连的层间偏振分束器有效
| 申请号： | 202010722520.9 | 申请日： | 2020-07-24 |
| 公开（公告）号： | CN111983753B | 公开（公告）日： | 2022-09-02 |
| 发明（设计）人： | 王书晓;王庆;蔡艳;余明斌 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
| 主分类号： | G02B6/126 | 分类号： | G02B6/126;G02B6/12 |
| 代理公司： | 上海泰能知识产权代理事务所(普通合伙) 31233 | 代理人： | 钱文斌;黄志达 |
| 地址： | 200050 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种应用于3D光互连的层间偏振分束器，包括直通波导和交叉波导，所述交叉波导包括第一条形波导，所述直通波导包括脊型波导和第二条形波导，所述脊型波导和第二条形波导通过脊型‑条形波导转换结构连接；所述脊型波导和第一条形波导在耦合区域实现耦合，且两者之间存在间隙。本发明能够在垂直方向上实现光的偏振分束。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 应用于 互连 偏振 分束器 | ||
【主权项】：
暂无信息
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