[发明专利]一种单行载流子光电探测器及其制作方法

摘要

本申请提供一种单行载流子光电探测器及其制作方法，在吸收层附近引入表面等离激元结构，利用局域的场增强以及传输中的近场增强与散射等特性增加吸收层的吸收，提高吸收层的光电转化效率，使得厚度较薄的吸收层具有较高的吸收性能，从而使得单行载流子光电探测器在较薄厚度的吸收层也能具有较高的响应度特性，进而在高速单行载流子探测器设计过程中，能够在不牺牲器件响应度特性指标的前提下，降低吸收层厚度，进而降低器件的载流子渡越时间，提升器件的高频带宽特性，也即实现了同时具有高响应度和高频带宽特性的器件。