[发明专利]可随温度自调节的全向透射薄膜元件及其制备方法在审

专利信息
申请号: 202010724652.5 申请日: 2020-07-24
公开(公告)号: CN111880324A 公开(公告)日: 2020-11-03
发明(设计)人: 靳京城;张卫;周泳全;赵振宇;肖海兵;刘明俊;徐晓梅;张东平 申请(专利权)人: 深圳信息职业技术学院
主分类号: G02F1/00 分类号: G02F1/00;G02F1/01;G02B1/115;C23C14/34;C23C14/10;C23C14/08;C23C14/00
代理公司: 深圳市华勤知识产权代理事务所(普通合伙) 44426 代理人: 隆毅
地址: 518000 广东省深*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明公开一种可随温度自调节的全向透射薄膜元件,包括两层渐变折射率材料薄膜层、基底层和二氧化钒薄膜层,所述两层渐变折射率材料薄膜层中的一层设置在所述基底的上表面,所述两层渐变折射率材料薄膜层中的另一层设置在所述基底的下表面。本发明将渐变折射率材料和热致相变材料结合,得到SiOx/SUB/SiOx/VO2结构的全向透射薄膜元件,其利用渐变折射率SiOx材料折射率大范围连续可调的优势,构建相变薄膜VO2双侧SiOx折射率调制层,使薄膜器件整体成为包含相变材料的折射率连续体。此外,本发明还公开一种可随温度自调节的全向透射薄膜元件的制备方法。
搜索关键词: 温度 调节 全向 透射 薄膜 元件 及其 制备 方法
【主权项】:
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