[发明专利]激光直接成像光学系统在审
| 申请号： | 202010724658.2 | 申请日： | 2020-07-24 |
| 公开（公告）号： | CN111736439A | 公开（公告）日： | 2020-10-02 |
| 发明（设计）人： | 祝锁;刘长清;陶帅洋;曹葵康;温延培 | 申请（专利权）人： | 苏州天准科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G02B27/28;G02B27/09 |
| 代理公司： | 上海华诚知识产权代理有限公司 31300 | 代理人： | 徐颖聪 |
| 地址： | 215000 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供一种激光直接成像光学系统，包括：激光光源照明设备；数字微镜器件设备，所述数字微镜器件设备设置在所述激光光源照明设备的上方；光刻成像镜头，所述光刻成像镜头设置在所述数字微镜器件设备的下方，所述光刻成像镜头包括分光棱镜，所述分光棱镜能够将所述激光分成P激光和S激光；激光能量追踪设备，所述激光能量追踪设备面对所述光刻成像镜头设置，所述激光能量追踪设备接收所述S激光并对所述S激光的能量进行追踪，并基于追踪的所述S激光的能量生成调节信号，所述激光光源照明设备基于所述调节信号进行调节。根据本发明的激光直接成像光学系统，能够自动化地追踪激光的能量变化，并且及时地进行调整，提高激光能量的稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 激光 直接 成像 光学系统 | ||
【主权项】：
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