[发明专利]半导体装置及其制造方法在审
申请号: | 202010725127.5 | 申请日: | 2020-07-24 |
公开(公告)号: | CN113178423A | 公开(公告)日: | 2021-07-27 |
发明(设计)人: | 筑山慧至;高久悟;菅生悠树;天野彩那 | 申请(专利权)人: | 铠侠股份有限公司 |
主分类号: | H01L23/29 | 分类号: | H01L23/29;H01L23/31;H01L21/56;H01L25/18 |
代理公司: | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人: | 张世俊 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明涉及一种半导体装置及其制造方法。本实施方式的半导体装置具备:衬底、第1粘接层、第1半导体芯片、及第2粘接层。第1粘接层设置在衬底的第1面上方,包含分子量不同的多种树脂及填料。第1半导体芯片设置在第1粘接层的上方。第2粘接层设置在衬底与第1粘接层之间的至少一部分的第1区域,包含多种树脂中分子量小于其它种类的树脂的至少1种树脂、及浓度低于第1粘接层的填料。 | ||
搜索关键词: | 半导体 装置 及其 制造 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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