[发明专利]一种压力传感器敏感元件的制造工艺有效
申请号: | 202010725399.5 | 申请日: | 2020-07-24 |
公开(公告)号: | CN111855034B | 公开(公告)日: | 2021-12-10 |
发明(设计)人: | 方舟;梁敏 | 申请(专利权)人: | 芜湖传方智能科技有限公司 |
主分类号: | G01L1/16 | 分类号: | G01L1/16;G01L9/08;C23C16/04;C23C14/04;B33Y10/00;B29C64/10 |
代理公司: | 合肥市科融知识产权代理事务所(普通合伙) 34126 | 代理人: | 朱文军 |
地址: | 241002 安徽省芜湖市弋江区*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | 本发明涉及传感器元件技术领域,具体涉及一种压力传感器敏感元件的制造工艺,包括基材切片、腔座打印、电极沉积和检测封装,其中采用的覆材机包括机台、层印头、调姿杆和控制器;所述机台的外侧设有调姿杆,调姿杆的端部与切片的边缘相接触;由于敏感元件在制造的生产过程中,机台上切片安装的定位过程耗费了额外的时间,且在待加工切片型号发生改变时,需要对应调整机台上切片的定位装置,继而降低了覆材机的加工效率;故此,本发明通过设置在机台上的圆环与其外部的调姿杆相配合,通过控制圆环的移动和调姿杆的转动范围,满足不同尺寸切片在机台上的定位精度,并优化了切片在机台上的定位过程,从而提升了压力传感器敏感元件的制造工艺效率。 | ||
搜索关键词: | 一种 压力传感器 敏感 元件 制造 工艺 | ||
【主权项】:
暂无信息
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