[发明专利]菊池衍射检测器在审
| 申请号： | 202010728479.6 | 申请日： | 2020-07-24 |
| 公开（公告）号： | CN112304992A | 公开（公告）日： | 2021-02-02 |
| 发明（设计）人： | 丹尼尔·拉杜·戈兰 | 申请（专利权）人： | 布鲁克纳米有限责任公司 |
| 主分类号： | G01N23/207 | 分类号： | G01N23/207;G01N23/20058;G01N23/203;G01N23/04;G01N23/2206;G01N23/2251 |
| 代理公司： | 苏州创元专利商标事务所有限公司 32103 | 代理人： | 冯尚杰;李萍 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于菊池衍射，特别是电子背向散射衍射或透射菊池衍射的检测器，检测器包括可安装至彼此的检测器主体和检测器头。其中，检测器主体包括包围被配置用于检测入射辐射的光电检测器的主体部分。检测器主体还包括相对于入射辐射的传播方向被布置在光电检测器上游的真空窗；及第一主体安装部和第二主体安装部，第一主体安装部被配置为被安装到SEM腔室端口。检测器头部包括闪烁屏和被配置为被安装到第二主体安装部的头部安装部。本发明的模块化检测器允许将检测器主体永久地安装到SEM的SEM腔室端口，并且选择性地将检测器头部安装到延伸通过SEM腔室内的SEM腔室端口的第二主体安装部分。因此，如果不执行菊池衍射，则可以空出SEM腔室。 | ||
| 搜索关键词： | 衍射 检测器 | ||
【主权项】：
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