[发明专利]二进料蒸发装置及其进料方法

摘要

一种二进料蒸发装置及其方法，用于通过加热装置加热化学单体液体，以蒸发成化学单体气体供镀膜使用。该二进料蒸发装置包括一蒸发器主体和一管路组件。该蒸发器主体具有腔室和加热安装部，其中该腔室用于容纳该化学单体液体，其中该加热安装部用于安装该加热装置，以使该加热装置加热在该腔室内的该化学单体液体，使得该化学单体液体被蒸发成该化学单体气体。该管路组件包括第一进料管路、第二进料管路以及出料管路，其中该第一进料管路和该第二进料管路分别连通于该蒸发器主体的该腔室，用于分别向该腔室输送该化学单体液体，其中该出料管路连通于该蒸发器主体的该腔室，用于将蒸发获得的该化学单体气体从该腔室输送出来。