[发明专利]半导体装置在审
申请号: | 202010730732.1 | 申请日: | 2014-12-18 |
公开(公告)号: | CN111799335A | 公开(公告)日: | 2020-10-20 |
发明(设计)人: | 笹川慎也;仓田求;花冈一哉;小林由幸;松林大介 | 申请(专利权)人: | 株式会社半导体能源研究所 |
主分类号: | H01L29/786 | 分类号: | H01L29/786;H01L29/04;H01L29/24;H01L29/10 |
代理公司: | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人: | 宋俊寅 |
地址: | 日本神*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明提供一种具有良好的电特性的半导体装置。该半导体装置包括:绝缘层;绝缘层上的半导体层;与半导体层电连接的源电极层及漏电极层;半导体层、源电极层以及漏电极层上的栅极绝缘膜;以及隔着栅极绝缘膜与部分半导体层、部分源电极层以及部分漏电极层重叠的栅电极层,其中半导体层的沟道宽度方向上的截面为大致三角形或大致梯形,以使实效的沟道宽度短于截面为四边形的情况。 | ||
搜索关键词: | 半导体 装置 | ||
【主权项】:
暂无信息
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