[发明专利]一种分子泵故障诊断预测系统在审
| 申请号： | 202010731060.6 | 申请日： | 2020-07-27 |
| 公开（公告）号： | CN111749922A | 公开（公告）日： | 2020-10-09 |
| 发明（设计）人： | 袁啸林;陈跃;胡建生;庄会东;侯吉磊;周跃 | 申请（专利权）人： | 中国科学院合肥物质科学研究院 |
| 主分类号： | F04D27/00 | 分类号： | F04D27/00 |
| 代理公司： | 北京科迪生专利代理有限责任公司 11251 | 代理人： | 张乾桢 |
| 地址： | 230031 安徽*** | 国省代码： | 安徽;34 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种分子泵故障诊断预测系统，包括：依次连接的故障模拟系统、真空腔体、真空抽气系统，分子泵诊断系统；所述故障模拟系统包括针阀，规管，VDE阀门及VDE阀门控制器；所述故障模拟系统用于模拟真空腔体泄露以及异物进入的突发状况，造成分子泵故障的情况；所述真空抽气系统一端通过插板阀与真空腔体相连接，另一端与机械泵相连接；所述分子泵诊断系统包括多状态监测传感器，数据采集设备，数据计算设备，故障诊断预测结果输出设备；所述多状态监测传感器，获取真实的分子泵故障状态数据，为分子泵诊断系统的在线实时分析提供数据保障。本发明提供了一种快速，经济，高效的解决方案，解决了分子泵故障数据不足导致分子泵诊断预测系统不能有效建立的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 分子 故障诊断 预测 系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国科学院合肥物质科学研究院，未经中国科学院合肥物质科学研究院许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202010731060.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种用于喷墨印刷的喷头清洁装置及方法
- 下一篇：抗疲劳组合物
