[发明专利]一种图案尺寸可控制的定位真空镀膜设备有效
| 申请号： | 202010732333.9 | 申请日： | 2020-07-27 |
| 公开（公告）号： | CN111778481B | 公开（公告）日： | 2020-12-25 |
| 发明（设计）人： | 廖香权;陈忠;彭義清;陈教飞;牛斌 | 申请（专利权）人： | 江苏兴广包装科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京锦信诚泰知识产权代理有限公司 11813 | 代理人： | 胡新瑞 |
| 地址： | 213166 江苏省常州市武进*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及镀膜设备技术领域，尤其涉及一种图案尺寸可控制的定位真空镀膜设备，包括：真空镀膜室；预热空间，内部具有加热单元；真空镀膜室的第一外壁与预热空间的内壁贴合设置，第一外壁上间隔设置有第一敞口端，内壁上间隔设置有第二敞口端；真空镀膜室转动设置，当第一敞口端和第二敞口端错位设置时，第一真空腔室和预热腔室形成两独立的封闭空间，否则第一真空腔室和预热腔室形成联通的密闭空间；还包括移动单元，在第一真空腔室和预热腔室之间移动工件。本发明中通过预热空间的设置，使得工件在进入真空镀膜室之前获得预热，且预热的过程中通过内壁与真空镀膜室的第一外壁可实现导热，保温均热效果良好，可保证镀膜的图案和尺寸得到控制。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 图案 尺寸 控制 定位 真空镀膜 设备 | ||
【主权项】：
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