[发明专利]一种高精度气体质量流量控制阀有效
| 申请号： | 202010732638.X | 申请日： | 2020-07-27 |
| 公开（公告）号： | CN112032310B | 公开（公告）日： | 2022-09-27 |
| 发明（设计）人： | 许明理;郑志鹏;尹升爱;王言徐 | 申请（专利权）人： | 北京精密机电控制设备研究所 |
| 主分类号： | F16K1/00 | 分类号： | F16K1/00;F16K1/38;F16K31/04;F16K31/50;F16K27/02;F16K27/08;F16K41/02 |
| 代理公司： | 中国航天科技专利中心 11009 | 代理人： | 刘秀祥 |
| 地址： | 100076 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种高精度气体质量流量控制阀，PLC控制伺服电机驱动器作为动力源，伺服电机接收到信号之后做出相应的转动，伺服电机转动轴通过丝杆与限位螺母带动阀芯轴向移动，进而控制阀芯与阀座的开合度最终控制气体流量，在阀体的进气口处连接气体流量计和压力传感器，气体流量计输出的流量信号和压力传感器检测的压力信号做为反馈信号，PLC接收到反馈信号后与系统指令进行比较，做出判断发送新的指令给伺服电机，如此形成了流量、压力闭环控制，最终实现阀芯位置闭环控制达到高精度流量控制。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 高精度 气体 质量 流量 控制 | ||
【主权项】：
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