[发明专利]一种用于玻璃基底的增透减反复合膜及其制备方法在审
申请号: | 202010732939.2 | 申请日: | 2020-07-27 |
公开(公告)号: | CN111830604A | 公开(公告)日: | 2020-10-27 |
发明(设计)人: | 徐照英;肖艳红;张腾飞;王锦标 | 申请(专利权)人: | 重庆文理学院 |
主分类号: | G02B1/113 | 分类号: | G02B1/113;C23C14/08;C23C14/06;C23C14/10;C23C14/35 |
代理公司: | 重庆晶智汇知识产权代理事务所(普通合伙) 50229 | 代理人: | 李靖 |
地址: | 40216*** | 国省代码: | 重庆;50 |
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摘要: |
本发明提供一种用于玻璃基底的增透减反复合膜及其制备方法,该方法先通过离子束进行基片轰击,然后通过离子源辅助磁控溅射的方法分别制备掺钨VO |
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搜索关键词: | 一种 用于 玻璃 基底 增透减反 复合 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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