[发明专利]一种去除塑封模具中模盒型腔残留物的方法在审
| 申请号： | 202010732992.2 | 申请日： | 2020-07-27 |
| 公开（公告）号： | CN111923293A | 公开（公告）日： | 2020-11-13 |
| 发明（设计）人： | 方兆国;陈中洲 | 申请（专利权）人： | 西安微电子技术研究所 |
| 主分类号： | B29C33/72 | 分类号： | B29C33/72;H01L21/56 |
| 代理公司： | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人： | 朱海临 |
| 地址： | 710065 陕西*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明提供一种去除塑封模具中模盒型腔残留物的方法，包括如下步骤：步骤1，先将塑封模具中模盒型腔加热，使所述的残留物分解、软化和焦化，得到焦化后的残留物；步骤2，将焦化后的残留物进行清扫，完成塑封模具中模盒型腔残留物的去除。本发明不涉及退镀、电镀和腐蚀等化学试剂处理工艺，在资源节约与环境保护方面远优于传统模具返厂维修；相比于化学试剂处理工艺更加温和，没有化学试剂的腐蚀影响，对模具和镀层的影响较小，对操作员工的健康无任何影响；相比于机械打磨工艺，附着残留物由高温高压气体清理，没有机械磨损现象，对模具和镀层的影响较小。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 去除 塑封 模具 中模盒型腔 残留物 方法 | ||
【主权项】：
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