[发明专利]一种实现三个Fano共振的内嵌双U型折射率传感器有效

专利信息
申请号: 202010733371.6 申请日: 2020-07-27
公开(公告)号: CN112098366B 公开(公告)日: 2022-10-25
发明(设计)人: 肖功利;徐燕萍;杨宏艳;欧泽涛;陈剑云;李海鸥;李琦;张法碧;傅涛;孙堂友;陈永和;刘兴鹏 申请(专利权)人: 桂林电子科技大学
主分类号: G01N21/41 分类号: G01N21/41
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 541004 广西*** 国省代码: 广西;45
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摘要: 发明公开了一种实现三个Fano共振的内嵌双U型折射率传感器,该传感器由一个大的倒U型谐振腔内嵌一个小的倒U型谐振腔和金属平板组成的金属‑电介质‑金属(MIM)波导结构。当光波在波导中传输时耦合到两个大小不同的倒U型谐振腔,满足共振条件时,可以产生Fano共振,在透射谱上出现三个尖锐非对称的共振峰。Fano共振对结构参数的变化异常敏感,因此通过调节U型谐振器的r1,r3,h1,h2和填充介质的折射率来控制Fano共振峰的线形和谐振波长。本发明在红外波段可以获得较高的灵敏度和品质因数(FOM),分别为2275nm/RIU,25540。该发明在光学集成电路、光电子器件,特别是微纳生物化学传感器等领域有着广阔的应用前景。
搜索关键词: 一种 实现 三个 fano 共振 内嵌双 折射率 传感器
【主权项】:
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